2019 में, M12 (210mm x 210mm) p-टाइप मोनो वेफर्स (295mm व्यास सिलिकॉन इंगोट) को लॉन्च किया गया था। 6” प्रारूप M2 (156.75mm x 156.75mm) M12 और M6 द्वारा रखे जाने की उम्मीद है।
1 भौतिक विशेषताएं
संपत्ति | विनिर्देश | निरीक्षण विधि |
विकास विधि | सीजेड | |
स्फटिकता | monocrystalline | तरजीही नक़्क़ाशी तकनीक（एएसटीएम F47-88） |
चालकता प्रकार | पी-प्रकार | नैप्सन ईसी-८०टीपीएन P/N |
दोपंत | बोरॉन, गैलियम | - |
ऑक्सीजन सांद्रता [Oi] | ≦8ई+17 at/सेमी3 | एफटीआईआर (एएसटीएम एफ121-83) |
कार्बन सांद्रता [Cs] | ≦5E+16 at/cm3 | एफटीआईआर (एएसटीएम एफ123-91) |
खोदना गड्ढे घनत्व (अव्यवस्था घनत्व) | ≦500 सेमी-3 | तरजीही नक़्क़ाशी तकनीक（एएसटीएम F47-88） |
सतह उन्मुखीकरण | [जीजी] लेफ्टिनेंट; १०० [जीजी] जीटी; ± ३ डिग्री | एक्स-रे विवर्तन विधि (एएसटीएम F26-1987) |
छद्म वर्गाकार भुजाओं का उन्मुखीकरण | [जीजी] लेफ्टिनेंट;010 [जीजी] जीटी;, [जीजी] लेफ्टिनेंट;001 [जीजी] जीटी;±3° | एक्स-रे विवर्तन विधि (एएसटीएम F26-1987) |
2 विद्युत गुण
संपत्ति | विनिर्देश | निरीक्षण विधि |
प्रतिरोधकता | 0.5-1.5 सेमी | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
एमसीएलटी (अल्पसंख्यक वाहक जीवनकाल) | ≧50 μs | सिंटन बीसीटी-400 (इंजेक्शन स्तर के साथ: 1E15 से। मी-3) |
3ज्यामिति
संपत्ति | विनिर्देश | निरीक्षण विधि |
ज्यामिति | पूर्ण वर्ग | |
वेफर साइड की लंबाई | २१० ± ०.२५ मिमी | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
वेफर व्यास | φ295 ± 0.25 मिमी | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
आसन्न भुजाओं के बीच का कोण | 90° ± 0.2° | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
मोटाई | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
टीटीवी (कुल मोटाई भिन्नता) | ≤27 µm | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
4 सतह के गुण
संपत्ति | विनिर्देश | निरीक्षण विधि |
काटने की विधि | डीडब्ल्यू | -- |
सतही गुणवत्ता | जैसा कि कट और साफ किया गया है, कोई दृश्य संदूषण नहीं है, (तेल या ग्रीस, उंगलियों के निशान, साबुन के दाग, घोल के दाग, एपॉक्सी / गोंद के दाग की अनुमति नहीं है) | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
देखा निशान / कदम | ≤ 15µm | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
धनुष | ≤ 40 µm | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
ताना | ≤ 40 µm | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
टुकड़ा | गहराई 0.3 मिमी और लंबाई ≤ 0.5 मिमी अधिकतम 2 / पीसी; कोई वी-चिप नहीं | नग्न आंखें या वेफर निरीक्षण प्रणाली |
सूक्ष्म दरारें / छेद | अनुमति नहीं हैं | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
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