एम4 पी-टाइप मोनोक्रिस्टलाइन वेफर 161.7 mm x 161.7 mm है।
1 सामग्री गुण
जायदाद | विस्तृत जानकारी | निरीक्षण विधि |
विकास विधि | सीजेड | |
क्रिस्टलिनिटी | मोनोक्रिस्टलाइन
| तरजीही Etch तकनीक（ASTM F47-88） |
चालकता प्रकार | पी-प्रकार | नैपसन ईसी-80TPN P/N |
डॉपैंट
| बोरोन, गैलियम
| - |
ऑक्सीजन एकाग्रता [ओय] | ≦8ई + 17 पर/सेमी3 | FTIR (ASTM F121-83) |
कार्बन एकाग्रता [सीएस] | ≦5E + 16 पर/सेमी3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Etch गड्ढे घनत्व (अव्यवस्था घनत्व) | ≦500 सेमी-3 | तरजीही Etch तकनीक（ASTM F47-88） |
सतह अभिविन्यास | <100>±3° | एक्स-रे विवर्तन विधि (ASTM F26-1987) |
छद्म वर्ग पक्षों का अभिविन्यास | <010>,<001>±3° | एक्स-रे विवर्तन विधि (ASTM F26-1987) |
2 विद्युत गुण
जायदाद | विस्तृत जानकारी | निरीक्षण विधि |
प्रतिरोधकता | 0.5-1.5ωcm | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
एमसीएलटी (अल्पसंख्यक वाहक जीवनकाल) | ≧50 माइक्रोन | सिंटन बीसीटी-400 (इंजेक्शन स्तर के साथ: 1E15 सेंटीमीटर-3) |
3 रेखागणित
जायदाद | विस्तृत जानकारी | निरीक्षण विधि |
रेखागणित | अर्ध वर्ग | |
वेफर साइड लंबाई | 161.7±0.25 मिमी | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
वेफर व्यास | φ221±0.25 मिमी | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
आसन्न पक्षों के बीच कोण | 90° ± 0.2 डिग्री | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
सघनता | 180﹢20/﹣10 माइक्रोन; 170﹢20/﹣10 माइक्रोन | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
टीटीवी (कुल मोटाई भिन्नता) | ≤27 माइक्रोन | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
4 सतह गुण
जायदाद | विस्तृत जानकारी | निरीक्षण विधि |
काटने की विधि | डीएसडब्ल्यू | -- |
सतह की गुणवत्ता | के रूप में कटौती और साफ, कोई दिखाई संदूषण, (तेल या तेल, फिंगर प्रिंट, साबुन दाग, घोल दाग, epoxy/ | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
देखा निशान/कदम | ≤ 15μm | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
गज | ≤ 40 माइक्रोन | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
ताना | ≤ 40 माइक्रोन | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
टुकडा | गहराई ≤0.3 मिमी और लंबाई ≤ 0.5 mm अधिकतम 2/pcs; कोई वी-चिप नहीं | नग्न आंखें या वेफर निरीक्षण प्रणाली |
माइक्रो दरारें/छेद | अनुमति नहीं | वेफर निरीक्षण प्रणाली |
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