【उत्पाद का परिचय】
भौतिक विशेषताएं
पैरामीटर | विशेषता | एएसटीएम कंट्रोल विधि |
प्रकार / Dopant | पी, बोरोन एन, फॉस्फोरस एन, एंटीमनी एन, आर्सेनिक | F42 |
झुकाव | <100>, <111> ग्राहक के विनिर्देशों के अनुसार अभिविन्यास बंद करें111>100> | F26 |
ऑक्सीजन सामग्री | ग्राहक के विनिर्देशन के अनुसार 10 19 पीपीएमए कस्टम सहिष्णुता | F121 |
कार्बन सामग्री | <0.6>0.6> | F123 |
प्रतिरोधकता पर्वतमाला- पी, बोरोन- एन, फॉस्फोरस- एन, एंटीमनी - एन, आर्सेनिक | 0.001 - 50 ओम · सेमी | F84 |
यांत्रिक विशेषताएं
पैरामीटर | प्रधान | मॉनिटर / टेस्ट ए | परीक्षा | एएसटीएम विधि |
व्यास | 125 mm 0.2 मिमी | 125 mm 0.2 मिमी | 125 mm 0.5 मिमी | F613 |
मोटाई | 625 µ 20 µm (मानक) | 625 µ 25 (m (मानक) 500 µ 25 ±m 1000 µ 25 µm | 625 µ 50 µm (मानक) | F533 |
TTV | <5>5> | <10>10> | <15>15> | F657 |
धनुष | <30>30> | <30>30> | <50>50> | F657 |
लपेटें | <30>30> | <30>30> | <50>50> | F657 |
एज राउंडिंग | अर्द्ध एसटीडी | F928 | ||
अंकन | SEMI-STD फ़्लैट, प्राथमिक SEMI- फ़्लैट, Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
सतही गुणवत्ता
पैरामीटर | प्रधान | मॉनिटर / टेस्ट ए | परीक्षा | एएसटीएम विधि |
सामने की ओर का मानदंड | ||||
सतह की हालत | रासायनिक यांत्रिक पॉलिश | रासायनिक यांत्रिक पॉलिश | रासायनिक यांत्रिक पॉलिश | F523 |
सतह खुरदरापन | <2 ए="">2> | <2 ए="">2> | <2 ए="">2> | |
संदूषण, कण @> 0.3 माइक्रोन | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
धुंध, गड्ढे, नारंगी छील | कोई नहीं | कोई नहीं | कोई नहीं | F523 |
देखा मार्क्स, स्ट्राइक | कोई नहीं | कोई नहीं | कोई नहीं | F523 |
बैक साइड क्राइटेरिया | ||||
दरारें, कौवे, निशान, दाग | कोई नहीं | कोई नहीं | कोई नहीं | F523 |
सतह की हालत | कास्टिक etched | F523 | ||
【 उत्पाद विवरण 】
माइक्रोफ्लुइडिक्स अनुप्रयोगों के लिए बिल्कुल सही। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक या एमईएमएस अनुप्रयोगों के लिए, कृपया हमें विस्तृत चश्मा के लिए संपर्क करें।
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】 उत्पाद सुविधाएँ 】
· 5 "पी / एन प्रकार, पॉलिश सिलिकॉन वेफर (25 पीसी)
· अभिविन्यास: 125
· प्रतिरोधकता: 0.1 - 40 ओम · सेमी (यह बैच से बैच में भिन्न हो सकती है)
· मोटाई: 625 +/- 20um
· प्राइम / मॉनिटर / टेस्ट ग्रेड
लोकप्रिय टैग: 5 इंच (125 मिमी) वेफर, चीन, आपूर्तिकर्ताओं, निर्माताओं, कारखाने, चीन में बनाया गया








