वेफर बो वारप थिकनेस माप मापन मेट्रोलोजी सिस्टम के लिए

स्रोत: mtiinstizers

एएसटीएम F657:

आगे और पीछे की सतह पर संबंधित बिंदुओं के बीच एक वेफर के माध्यम से दूरी। मोटाई माइक्रोन या मिल्स (इंच के हजारवें भाग) में व्यक्त की जाती है।

कुल मोटाई भिन्नता (TTV)

एएसटीएम F657:

बिंदु माप की एक स्कैन पैटर्न या श्रृंखला के दौरान सामना की गई मोटाई के अधिकतम और न्यूनतम मूल्यों के बीच का अंतर। टीटीवी माइक्रोन या मिल्स (इंच के हजारवें हिस्से) में व्यक्त किया जाता है।

ऊपर दिया गया चित्र दो गैर-संपर्क माप जांचों के बीच रखा गया एक वेफर दर्शाता है। ऊपरी जांच चेहरे और ऊपरी वेफर सतह (ए) और नीचे जांच चेहरे और नीचे वेफर सतह (बी) के बीच परिवर्तन की निगरानी करके, मोटाई की गणना की जा सकती है। पहले सिस्टम को ज्ञात मोटाई (टी डब्ल्यू ) पर एक वेफर के साथ कैलिब्रेट किया जाना चाहिए। ज्ञात मोटाई के क्षेत्र को जांच के बीच रखा जाता है और ऊपरी अंतर को वेफर गैप (ए) में रखा जाता है और वेफर गैप (बी) को कम जांच का अधिग्रहण किया जाता है। ऊपरी और निचली जांच के बीच कुल अंतर (Gtotal) की गणना इस प्रकार की जाती है:

जी कुल = ए + बी + टी डब्ल्यू

सिस्टम को कैलिब्रेट करने के साथ, अज्ञात मोटाई के वेफर्स को अब मापा जा सकता है। जब वेफर को जांच के बीच रखा जाता है, तो ए और बी का एक नया मूल्य प्राप्त होता है। मोटाई की गणना निम्न प्रकार से की जाती है:

टी w = जी कुल - (ए + बी)

वेफर के एक स्वचालित स्कैनिंग के दौरान, बिंदु माप की एक श्रृंखला ली जाती है और संग्रहीत की जाती है। स्कैन के पूरा होने के बाद, टीटीवी की गणना इस प्रकार की जाती है:

टीटीवी = टी मैक्स - टी मिनट

गैर संपर्क BOW मापक

एएसटीएम F534 3.1.2:

एक मुक्त, औसत सतह के समतल सतह के मध्य बिंदु का विचलन, तीन बिंदुओं द्वारा स्थापित माध्यिका सतह संदर्भ विमान से समान रूप से वफ़र होता है, जो एक वृत्त पर समान रूप से वफ़र के नाममात्र व्यास से कम एक व्यास के साथ स्थापित होता है।

मेडियन सतह:

आगे और पीछे की सतहों के बीच वफ़र समवर्ती में बिंदुओं का स्थान। धनुष को मापने और गणना करते समय, यह ध्यान रखना महत्वपूर्ण है कि वफ़र के स्थान की औसत सतह ज्ञात होनी चाहिए। माध्यिका की सतह के विचलन को मापकर, वफ़र के केंद्र बिंदु पर स्थानीयकृत मोटाई भिन्नता गणना से हटा दी जाती है।

ऊपर दो जांच चेहरों के बीच वेफर मीडियन सतह के संबंध को दिखाया गया है:

• डी = ऊपरी और निचले जांच चेहरे के बीच की दूरी

• A = ऊपरी जांच से ऊपरी वफ़र सतह से दूरी

• बी = निचली जांच से निचली वेफर सतह तक की दूरी

• Z = ऊपरी और निचली जांच (D / 2) के बीच वफ़र मध्य सतह और बिंदु आधी दूरी के बीच की दूरी

वेफर पर किसी भी स्थान पर Z का मान निर्धारित करने के लिए, दो समीकरण हैं:

Z = D / 2 - A - T / 2 और Z = -D / 2 + B + T / 2

Z के लिए दोनों समीकरणों को हल करते हुए, मूल्य को बस द्वारा निर्धारित किया जा सकता है:

जेड = (बी - ए) / 2

चूंकि धनुष को केवल वेफर के केंद्र बिंदु पर मापा जाता है, वेफर के किनारे के बारे में तीन (3) बिंदु संदर्भ विमान की गणना की जाती है। धनुष के मूल्य को तब वफ़र के केंद्र में मध्य सतह की स्थिति को मापकर और संदर्भ विमान से दूरी का निर्धारण करके गणना की जाती है। ध्यान दें कि धनुष एक सकारात्मक या नकारात्मक संख्या हो सकती है। धनात्मक धरातल मध्य बिंदु सतह के तीन बिंदु संदर्भ विमान के ऊपर होता है। नकारात्मक का अर्थ है कि मध्य सतह का केंद्र बिंदु तीन बिंदु संदर्भ विमान के नीचे है।

सौर उद्योग के लिए चेतावनी

एएसटीएम F1390:

एक संदर्भ जगह से मुक्त, औसत दर्जे की वफ़र की औसत सतह की अधिकतम और न्यूनतम दूरी के बीच अंतर। धनुष की तरह, ताना एक वेफर की मध्य सतह और एक संदर्भ विमान के बीच भेदभाव का एक माप है। ताना, हालांकि, केंद्र बिंदु पर स्थिति के बजाय वेफर की पूरी मध्य सतह का उपयोग करता है । पूरे वेफर को देखकर, ताना असली वेफर आकार का अधिक उपयोगी माप प्रदान करता है। मंझला सतह के स्थान की गणना ठीक उसी तरह की जाती है जैसे कि वह धनुष के लिए होती है और ऊपर दिखाई जाती है। ताना निर्धारण के लिए, संदर्भ विमान के निर्माण के लिए दो विकल्प हैं। एक वेफर के किनारे के आसपास एक ही तीन बिंदु विमान है। अन्य माप स्कैन के दौरान प्राप्त औसत दर्जे के सतह डेटा की एक न्यूनतम वर्ग फिट गणना करके है। ताना की गणना तब संदर्भ विमान (आरपीडी अधिकतम ) से अधिकतम विचलन और संदर्भ विमान (आरपीडी मिनट ) से न्यूनतम भेदभाव की गणना करके की जाती है। RPD अधिकतम को संदर्भ विमान के ऊपर सबसे बड़ी दूरी के रूप में परिभाषित किया गया है और यह एक सकारात्मक संख्या है। RPD मिनट संदर्भ विमान के नीचे सबसे बड़ी दूरी है और एक ऋणात्मक संख्या है।

ऊपर चित्र ताना गणना का एक चित्रण है। इस उदाहरण में RPDmax 1.5 है और इसे संदर्भ विमान के ऊपर की मध्य सतह की अधिकतम दूरी के रूप में दिखाया गया है। RPDmin - 1.5 है और इसे संदर्भ तल के नीचे औसत सतह की अधिकतम दूरी के रूप में दिखाया गया है। नोट ताना हमेशा एक सकारात्मक मूल्य होता है।

ताना = 1.5 - (-1.5) = 3

यह धनुष और ताना-बाना दोनों की उपयोगिता को भी दिखाता है। वफ़र की औसत सतह को वफ़र केंद्र पर संदर्भ विमान को काटता है, इसलिए, धनुष माप शून्य होगा। गणना किए गए ताना मूल्य इस मामले में अधिक उपयोगी है क्योंकि यह बताता है कि उपयोगकर्ता के पास वेफर में अनियमितताएं हैं।