8 इंच (200 मिमी) वेफर

टाइप/डोपेंट

पी, बोरॉन एन, फॉस्फोरस एन, एंटीमनी एन, आर्सेनिक

F42

झुकाव

<100>,   <111>ग्राहक के विनिर्देशों के अनुसार झुकाव को स्लाइस करें

F26

ऑक्सीजन सामग्री

10¹⁹ PPMA कस्टम सहिष्णुता प्रति ग्राहक के विनिर्देशन

F121

कार्बन सामग्री

< 0.6   ppmA

F123

प्रतिरोधकता रेंज- पी, बोरान- एन, फॉस्फोरस- एन, एंटीमनी- एन, आर्सेनिक

0.001 - 50 ओम सेमी
0.1 - 40 ओम सेमी
0.005 - 0.025 ओम सेमी
<0.005 ओम सेमी

F84

व्यास

200 ± 0.2 मिमी

200 ± 0.2 मिमी

200 ± 0.5 मिमी

F613

मोटाई

725 (20 माइक्रोन (मानक)

725 (25 (M (मानक) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µM 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 माइक्रोन

725 (50 माइक्रोन (मानक)

F533

टीटीवी

< 5 µm

< 10 µm

< 15 µm

F657

झुकना

< 30 µm

< 30 µm

< 50 µm

F657

लपेटना

< 30 µm

< 30 µm

< 50 µm

F657

बढ़त

अर्ध-एसटीडी

F928

अंकन

प्राथमिक अर्ध-फ्लैट केवल, सेमी-एसटीडी फ्लैट्स जियोदा फ्लैट, पायदान

F26, F671

सामने की ओर मानदंड

सतह की स्थिति

रासायनिक यांत्रिक पॉलिश

रासायनिक यांत्रिक पॉलिश

रासायनिक यांत्रिक पॉलिश

F523

सतह खुरदरापन

< 2 A°

< 2 A°

< 2 A°

Contamination,Particles   @ >0.3 µm

= 20

= 20

= 30

F523

धुंध, गड्ढे, नारंगी छील

कोई नहीं

कोई नहीं

कोई नहीं

F523

देखा निशान, स्ट्राइक

कोई नहीं

कोई नहीं

कोई नहीं

F523

बैक साइड मानदंड

दरारें, क्रॉसेफेट, आरा के निशान, दाग

कोई नहीं

कोई नहीं

कोई नहीं

F523

सतह की स्थिति

कास्टिक etched

F523